精密エアースリット Air Slits

レックス(LEX)のエアースリットは、電気鋳造法によりニッケルまたは銅の薄板にミクロン単位の微細な溝を形成しています。溝のエッジはシャープで滑らかであり、スリットの平行度が高くなっています。

ニッケルは、他の材料に比べ耐食性が高く、耐久性に優れ、高温や低温での強度が高い材質の為、基板の強度は高くなっています。
が、更に取扱いが容易となる、直径16mmのアルミ製マウント枠付きの製品もご用意しています。

電鋳加工は、スリット幅:5μm程度からの微細で高精度の製作が可能です。
逆に、スリット幅が50~60μm以上であれば、廉価なステンレス(SUS)製のレーザー加工品またはエッチング加工品をお選びいただく事も可能です。

高エネルギーレーザー(高出力のハイパワーレーザー)用は、熱伝導率の高い銅薄膜の基板に、赤外線(IR)に対する反射率の高い金をコーティングし、損傷しきい値は約50MW/cm2(@700nm)となっています。

基板の片面には深さ3μmのザグリを設け、スリットのエッジには厚さと同じ曲率を持つ構造を有します。これによりスリット部の実質的な厚さがほぼゼロとなり、基板のどちら側から光を入射させても同じ効果が得られます。

スリットに付着した汚れや塵のクリーニングには、弱いエアーブローが適しています。スリット部への物理的な接触は避けてください。

<主な用途>

  • 光学系で焦点上に結像された像のスキャニングシステムや分解システム
  • スキャニングシステムから得られる情報による光学MTFの計算
  • レーザー装置、光センサー、分光測定
  • 検査・校正の基準に

以下のような特別注文の仕様にも対応します。お気軽にお問合せください。

  • スリット幅とスリット長さ、基板の外径、および基板外形形状の変更
  • 1枚の基板への複数のスリット加工
  • 反射防止のための黒染め処理
  • レーザー加工、フォトエッチング加工による廉価タイプ(材質:SUS304、アルミニウム、他)
  • タングステン、モリブデンなどの特殊な材質の製品
  • マウント(枠)の寸法、形状などの変更

仕様

基板の材質
純度99.9%のニッケル(標準品)
または、銅に両面金メッキ
(高エネルギー用)
スリットの位置公差
±0.2mm
基板の直径
φ9.5 +0.0/-0.1mm
基板の厚さ(t)
20±5μm
エッジの深さ(a)
3μm
マウント(枠)の材質
アルミニウム(黒色アルマイト処理)
マウントに対する
スリットの位置公差
±0.25mm
スリット幅W
(μm)
スリット幅の公差
(μm)
製品番号
標準のスリット 高エネルギー用スリット
スリットのみ マウント付 スリットのみ マウント付
5 ±2.0 PS5N3 PSM5N3 PS5C3H** PSM5C3HM**
10 ±2.0 PS10N3 PSM10N3 PS10C3H** PS10C3HM**
25 ±3.0 PS25N3 PSM25N3 PS25C3H PSM25C3HM
50 ±3.0 PS50N3 PSM50N3 PS50C3H PSM50C3HM
100 ±5.0 PS100N3 PSM100N3 PS100C3H PSM100C3HM
150 ±5.0 PS150N3 PSM150N3 PS150C3H PSM150C3HM
200 ±6.0 PS200N3 PSM200N3 PS200C3H PSM200C3HM

* 標準タイプのスリットは在庫があり、即納可能です。お気軽にお問合せください。
* スリット幅と長さの変更、基板の外径と形状の変更、1枚の基板への複数のスリット加工、黒染め処理(反射防止)等の特注にも対応します。
* レーザー加工、エッチング加工の場合、スリットの断面は緩いテーパーの付いた形状となります。
** 高エネルギー用のスリット幅5μm、10μmの製品は、基板の厚さ(t)が15±5μmとなります。

スリット(基板)の寸法
マウント(アルミ製枠)付きスリットの寸法
スリット(基板)の断面図
(Rの付いた面側に、黒マジックの印をしています)
(マウント付は、刻印側がRの付いた面です)
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